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閑話芯情
孜孜不倦科研報國 潤物無聲培育人才—專訪中國科學院院士鄒世昌先生
出自:楊菲 華虹宏力

朝夕變換間,滬城青草深。驀然間,已至盛夏。

人們習慣于低頭忙碌,很多時候忘記春夏秋冬,卻在偶然閑暇的片刻,嗅到那一縷香氣,暫停下匆忙的腳步,細細品味,不負時光不負好時節。
鄒世昌先生就是一個忙碌的人,時間于他而言,更多的是光與影的默默前移。上世紀60年代,他參與團隊攻堅克難,成為我國核工業發展的鋪路人之一;70年代初,轉身投入半導體研究領域,將離子注入技術應用于半導體集成電路,成為我國離子束領域的奠基人;90年代后,從科研轉向產業,參與集成電路產業建設,風雨兼程廿余載助力“中國芯”騰飛;如今這位德高望重的老前輩、老導師,仍是華虹宏力和中國科學院微系統所聯合培養博士研究生項目的積極推動者,做科普、建院士專家工作站、當企業科協顧問,孜孜不倦地為“中國芯”培養年輕人才……學生和晚輩,習慣以“鄒先生”親切地稱呼他。
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鄒世昌,中國科學院院士,材料學家,上海市集成電路行業協會名譽會長,曾任原華虹NEC副董事長、原宏力半導體董事長,現為上海華虹宏力半導體制造有限公司科學顧問。
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學有所成報效國家
鄒先生出生在炮火紛飛的戰爭年代,生活經歷比較艱苦。幼年時候幾度被迫舉家搬遷,讀書的時候在學校都能聽到飛機的轟炸聲。1949年,他從格致中學畢業后,考上上海的中國紡織工學院——東華大學的前身,不久新中國誕生,他開始考慮將學習方向轉為國家需要的行業——重工業相關領域,轉學到唐山交通大學,也就是現在的西南交大,在那里就讀冶金工程專業。
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50年代留蘇
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1952年大學畢業后,鄒先生進入中國科學院上海冶金研究所,開始了科研生涯。國家通過考試選拔人才去蘇聯留學, 他有幸考上,于是在1953年到蘇聯莫斯科有色金屬學院留學深造,并于1958年獲副博士學位,然后回到了中國科學院上海微系統與信息技術研究所(原名中國科學院上海冶金研究所),用自己所學報效國家。
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上世紀60年代,蘇聯與中國關系惡化,撤銷了對中國的援助計劃,并撤回全部技術專家,直接影響到了我國原子彈制造相關技術項目的進行。其中關鍵之一就是我們不會制造分離鈾235的分離膜元件。當時只有美國、英國、蘇聯掌握制造分離膜的技術,但均被列為重點國防機密。蘇聯還把這種分離膜稱為“社會主義陣營安全的心臟”。
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在這種情況下,毛主席、周總理等國家領導人決定自力更生,當時就想到了中國科學院上海冶金研究所。鑒于任務重大又緊迫,1961年,有關科研人員和設備被集中到上海冶金所聯合攻關,副所長吳自良兼任室主任,下設三個大組。其中鄒先生領導的第二大組負責分離元件制造工藝的研究。
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在黨委和吳自良院士領導下,全室人員日以繼夜奮斗,進行粉末成型,壓力加工,熱處理,表面處理等環節的研究。當時我國能生產供應的焊頭材料性能達不到分離膜焊接工藝的要求,鄒先生在當研究生時研究出的一種高強度、高電導、熱穩定銅合金新材料,將這一材料加工成焊接電極,使用效果良好,鏟平了一個技術障礙。
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1964年,符合要求的分離膜元件終于研制成功。試用結果表明,性能超過了蘇聯的元件,使中國成為世界上第四個獨立掌握濃縮鈾生產技術的國家,為我國的核工業發展做出了重要貢獻。1984年,這項技術被授予國家創造發明一等獎。?
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建設半導體產業任重道遠
鄒先生在八十年代開始轉向半導體研究領域,研究離子束與固體材料的相互作用并應用于材料的摻雜、改性、合成與分析,在國內首先建立了離子背散射溝道技術,1985年創建了中國科學院離子束開放研究實驗室。
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80年代于美國,鄒院士與世界離子注入技術創始人Mayer教授合影

世界上集成電路誕生于六十年代初,我國在1965年也開始研發集成電路了,但受限于國內局勢等因素,始終形不成規模,在世界上處于落后的地位。
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直到80年代末,國家下決心發展半導體集成電路產業,成立了華虹集團啟動了“909工程”。1997年,鄒先生從研究所所長崗位退下來時,欣然接受委任,參與華虹集團旗下華虹NEC公司的組建工作以及后來宏力半導體公司的建設,為國家集成電路產業建設做出新的貢獻。
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這兩個晶圓廠投資都達到100億人民幣之巨,但工程起步十分艱難。宏力半導體就經歷了“八年抗戰”,人才要招募,技術要研發,設備要折舊,需要大量資金的支撐,在市政府領導的支持下公司才渡過難關堅持了下來。半導體業本身就是一個前期投入比較大的產業,等技術慢慢過關,市場逐步打開,才會實現盈利,這是慣例。
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2013年,兩家公司合并為上海華虹宏力半導體制造有限公司(華虹宏力),共有三座8英寸晶圓廠,成為中國大陸最大的8英寸純晶圓代工企業。2018年公司銷售額9.3億美元,年凈利潤1.86億美元,均再創歷史新高,截至2019年第一季度,已連續33個季度盈利。公司員工都很高興,說明在中國本土自主發展集成電路產業這條路終于走通了。
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本世紀初鄒先生擔任上海市集成電路行業協會會長,當時我國集成電路產品是自供率不超過20%,80%以上依賴進口。十多年過去了,現在中國半導體產業規模已經增長到近3000億美元,全球半導體市場容量也擴大到4000億美元,但是我國自供比例幾乎沒變,仍然有80%集成電路要依靠進口。前一陣鬧得沸沸揚揚的“中興事件”,根本原因之一就是核心技術掌握在別人手里。
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現在很多中低端集成電路產品我們自己能生產了,但跟國外的差距還有兩到三代,我們應該正視這種差距,并慢慢向高端升級。發展半導體行業沒有捷徑可走,我們只能一步一個腳印向前發展,盡量少走彎路。為了改變研究所驗室的研究成果往往脫離生產實際,不少研究成果發表后難以應用于實際生產的狀況,華虹宏力從本世紀初開始就把學生放到公司生產線上試探產學研結合培養博士研究生的新路。?
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培養下一代半導體人才
問鄒先生為什么到現在這個年紀還在工作,他覺得為人不能忘本,如果不是國家培養就沒有自己的進步和成長,一定要盡全力報效國家。同時科學研究早已經成為他生活的一部分了,工作中還可以和現在的年輕人進行交流,獲取新鮮知識,保持工作節奏和大腦思維能力。

隨著年齡的推移,鄒先生就把工作逐步轉移到培養年輕人的工作上,他認為一個產業是否強大,關鍵就看人才隊伍素質和能力。
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只要有資金,廠房可以造,設備可以買,但是人才難求,只有靠自己培養,但培養人需要時間,現在國內自己培養出來的學生能夠只能滿足需求百分之十幾。為改變這一點,在華虹宏力公司建立了產學研平臺,培養博士研究生和博士后研究人員,讓學生在生產線上密切結合生產需求解決實際問題,學成后馬上能獨立工作,院士專家工作站建成后,已經通過這種方式培養了30個博士,2名博士后出站。
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鄒先生又提出把微系統研究所的研究工作和企業工藝線通過聯合培養博士生實現“產學研”三結合,通過工藝開發,器件建模,建立標準單元庫開發驗證電路。
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除了培養專業人才,鄒先生還積極做科學普及工作。半導體集成電路這個行業的建設需要靠幾代人去努力,“從娃娃抓起”很有必要。2017年上海廣播電視臺組織8名中國科學院院士給中學生進行科普講座,分給他的題目是“集成電路探秘”。節目播出后,反響熱烈,廣播電臺建議整理出書,鄒先生就將相關內容整理出來,形成《芯片世界——集成電路探秘》這本小書,希望能吸引更多年輕人對集成電路行業產生的關注和興趣,成為我國集成電路產業的生力軍。

鄒先生相信中國的集成電路產業總有一天將進入世界前列,并希望這一天盡快來到。
 

 

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文章收入時間: 2019-07-26
 
 
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